電子線マイクロプローブアナライザー(EPMA)

epma

微小領域(~2ミクロン)の精密な化学分析を行うことを主目的とする装置です。波長分散型X線分光器(WDS)は分光用の結晶をブラッグ条件を満たすように動かすことでX線を分光します。半導体検出器を用いたエネルギー分散型X線分光器(EDS)に比べて、1桁以上高い波長分解能があるため、近接した特性X線の分離や微量元素の測定に向いています。WDSは同時に一つの波長しか検出できないため一般に多元素分析に不向きですが、本装置は5つの分光器を備えており、高速な分析が可能です。