走査型電子顕微鏡(SEM-EDS)

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私たちが試料を調べるにために最もよく用いる基本的な電子顕微鏡です。高速の電子が物質に衝突すると、弾性(後方)散乱電子、2次電子、オージェ電子、蛍光、特性X線、連続X線など、様々なエネルギーの電子/電磁波を発生します。走査型電子顕微鏡は鏡面研磨した試料表面に細く絞った電子線を走査させながら照射し、得られた信号をスクリーンに結像することで拡大像をえます。通常,大きさ1ミクロン以上の粒子の形状,組織,化学組成を調べるのに適しています。本装置はエネルギー分散型X線分光器(EDS)を装備しており,微小領域(~2ミクロン)の定量分析ならびに元素二次元分布マッピングを行うことができます。